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洁净室的温湿度控制包含了对温、湿度基数与容许变化范围的要求，洁净室内温度的高低及变化的大��，对电子产品生产及运行有着很大的影响。
洁净室内温度对电子产品的影响表现在温度条件影响温度变化过大由于热膨胀，使元器件、电路接点、*密设备仪器、机械构件的温度系数改变，造成尺寸变化、位置偏移、机构变形，影响产品的性能、成品率、可靠性。
另一方面温度过高操作人员容易出汗，易造成污染;影响操作人员的工作情绪，影响产品质量及生产效率;影响*密电子设备及仪器的稳定性，金属和塑料*缘会因为收缩系数改变产生接触不良、密封开裂、焊点连接失败等问题。
洁净室内空气湿度对电子产品生产的影响，主要有以下几方面：
1、影响电子设备及元器件产品的性能。湿度过大，电子元器件易引起漏泄通路、漏电、击穿及材料老化等变化;
2、湿度大，易在*密电子、机械设备内部及工作表面产生凝结水，影响设备内部元器件的性能及工作稳定性，甚至引起泄露、断路等问题;
3、当湿度超过一定的临界值时，则将加速金属的腐蚀。
静电对洁净室电子产品生产的危害主要是：破坏电子元器件的生产，影响产品成品率，在微电子器件生产过程中，各种因素产生的静电电压，往往会超过电子器件对静电的灵敏度范围，如果当室内相对湿度过低时，可能产生一定的静电电压，使得产品损坏率上升;造成电子设备故障，损坏设备内部元器件。